[实用新型]表面处理设备

摘要

本实用新型公开了一种表面处理设备，包括：用于对工件表面进行清洗的清洗部（1）；前段烘干部（2），用于对工件表面进行烘干处理以去除工件表面残留的液体；前段冷却部（3），用于将工件冷却到预定温度；预处理部（4），用于对工件表面进行预处理以增加硅化保护层与工件表面的粘合力；中段烘干部（5），用于对工件表面进行烘干处理以去除工件表面残留的液体；中段冷却部（6），用于将工件冷却到预定温度；硅化处理部（7），用于对工件表面进行硅化处理以在工件表面形成硅化保护层；和后段烘干部（8），用于对工件表面进行烘干处理以去除工件表面残留的液体。根据本实用新型的表面处理设备，可以全自动、一次成型的执行工件表面硅化处理工艺，环境污染小，操作方便，具有很高的合格率和生产效率。

主权项

一种表面处理设备，其特征在于，包括： 清洗部（1），用于对工件表面进行清洗，去除工件表面附着的杂质； 前段烘干部（2），设置在清洗部（1）之后，用于对工件表面进行烘干处理以去除工件表面残留的液体； 前段冷却部（3），设置在前段烘干部（2）之后，用于将工件冷却到预定温度； 预处理部（4），设置在前段冷却部（3）之后，用于对工件表面进行预处理以增加硅化保护层与工件表面的粘合力； 中段烘干部（5），设置在预处理部（4）之后，用于对工件表面进行烘干处理以去除工件表面残留的液体； 中段冷却部（6），设置在中段烘干部（5）之后，用于将工件冷却到预定温度； 硅化处理部（7），设置在中段冷却部（6）之后，用于对工件表面进行硅化处理以在工件表面形成硅化保护层；和 后段烘干部（8），设置在硅化处理部（7）之后，用于对工件表面进行烘干处理以去除工件表面残留的液体。