[实用新型]晶片多面取像检测装置

摘要

一种晶片多面取像检测装置，其主要在一基座上界定有一晶片输送路径，用以提供一输送装置将多个待测晶片沿水平线方向一直线接续通过，基座中设有内有反光表面的反光盆，基座顶部设有一第一光源，反光盆顶部设有第二光源，用以对沿晶片输送路径移动而通过反光盆正上方的晶片提供照明，在反光盆底部及周边设有多个取像组件，以该多个取像组件的镜头对沿晶片输送路径移动的待测晶片撷取多面影像，进而输送至检测系统比对分析是否符合晶片良品，提升晶片多面取像检测的作业速率。

主权项

一种晶片多面取像检测装置，其特征在于，其包括：一基座，其上界定有一呈水平线的晶片输送路径；一反光盆，其以盆口朝上的方式安装设置于基座中，且位于晶片输送路径下方，反光盆的周壁内表面具有反光表面，反光盆周壁底部设有一底取像孔，反光盆周壁侧面设有多个侧取像孔；一第一光源，其设置于基座上，用以朝向反光盆的盆口中间区域及晶片输送路径方向提供照明；一第二光源，其设置于反光盆顶部，用以在反光盆提供照明；一第一取像组件，其装设置于基座中，且第一取像组件以镜头垂直朝上的方式伸向反光盆底部的底取像孔，用以对沿晶片输送路径移动的待测晶片撷取底面影像；以及多个第二取像组件，其分布设置于基座中且环绕排列于反光盆外围，所述多个第二取像组件的镜头能经由反光盆周壁的侧取像孔对沿晶片输送路径移动的待测晶片撷取周边侧面的影像。