[实用新型]一种掩模组件有效
| 申请号： | 201320842785.8 | 申请日： | 2013-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN203728917U | 公开（公告）日： | 2014-07-23 |
| 发明（设计）人： | 魏志凌;高小平;魏志浩;莫松亭;刘学明 | 申请（专利权）人： | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种掩模组件，包括掩模框和掩模板，掩模板固定于掩模框上，掩模板上设有由蒸镀孔阵列而成的掩模图案区域，其特征在于：蒸镀孔由多边形开口及设置在多边形开口边角处的补偿开口构成，补偿开口构成多边形开口的外延结构，掩模板为一体成型结构或由分立的掩模单元组成。本实用新型所提供的掩模组件，蒸镀孔由多边形开口及补偿开口组成，补偿开口的设置提高了蒸镀孔的开口率，从而提高掩模组件的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 模组 | ||
【主权项】：
一种掩模组件，包括掩模框和掩模板，所述掩模板固定于所述掩模框上，所述掩模板上设有由蒸镀孔阵列而成的掩模图案区域，其特征在于：所述蒸镀孔由多边形开口及设置在所述多边形开口边角处的补偿开口构成，所述补偿开口构成所述多边形开口的外延结构，所述掩模板为一体成型结构或由分立的掩模单元组成。
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