[实用新型]扩散炉尾气收集装置有效
| 申请号： | 201320867781.5 | 申请日： | 2013-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN203631579U | 公开（公告）日： | 2014-06-04 |
| 发明（设计）人： | 王英超;郎芳;李高非;史金超 | 申请（专利权）人： | 英利集团有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/228 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 吴贵明;张永明 |
| 地址： | 071051 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种扩散炉尾气收集装置，该扩散炉尾气收集装置包括：壳体（10），壳体（10）包括内腔及与内腔连通的进气口（11）和排气口（12），扩散炉尾气收集装置还包括：障壁（20），障壁（20）设置在内腔中，相邻障壁（20）之间和/或障壁（20）与壳体（10）的内壁之间形成有连通进气口（11）和排气口（12）的气流通道。本实用新型的技术方案有效地解决了现有技术中残液罐冷却效果不佳的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散 尾气 收集 装置 | ||
【主权项】：
一种扩散炉尾气收集装置，包括：壳体（10），所述壳体（10）包括内腔及与所述内腔连通的进气口（11）和排气口（12），其特征在于，所述扩散炉尾气收集装置还包括：障壁（20），所述障壁（20）设置在所述内腔中，相邻所述障壁（20）之间和/或所述障壁（20）与所述壳体（10）的内壁之间形成有连通所述进气口（11）和所述排气口（12）的气流通道。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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