[实用新型]一种真空实验平台

摘要

本实用新型属于无机化学仪器分析领域，具体涉及一种真空实验平台。目的在于提供一种启动速度快、灵敏度高、漏点定位准确同时又具备抽空功能的真空实验平台。该平台包括真空系统、为真空系统各部件提供电源的电源控制系统、与被检工件进行匹配连接的接口系统，其中真空系统为被检工件提供真空环境和真空指示；电源控制系统控制整机、机械泵、分子泵、离子泵、复合真空计等部件的电源。接口系统为待抽系统、工件提供形态各异的接口和转换头。本平台在准确定位焊接器件的漏点、质谱计制造真空系统辅助抽空、真空系统辅助运行中效果明显，同时，在质谱仪真空实验中，能为离子源等试验提供真空环境；具备抽速快、启动迅速、使用方便、多功能等特点。

主权项

一种真空实验平台，其特征在于：包括为被检工件提供真空环境和用于真空指示的真空系统，为真空系统各部件提供电源的电源控制系统，与被检工件进行匹配连接的接口系统；所述真空系统包括依次相连的机械泵、分子泵、离子泵；还包括复合真空计，所述真空系统包括位于真空泵和被检工件系统通道的电阻真空规和位于离子泵端的冷阴极真空规，所述复合真空计为冷阴极真空规和电阻真空规提供电源，并测量和显示冷阴极真空规和电阻真空规检测的真空度。