[发明专利]工作台装置及输送装置有效
| 申请号： | 201380003549.X | 申请日： | 2013-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN104395624A | 公开（公告）日： | 2015-03-04 |
| 发明（设计）人： | 佐藤俊德 | 申请（专利权）人： | 日本精工株式会社 |
| 主分类号： | F16C32/06 | 分类号： | F16C32/06;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 工作台装置包括（TA）：第1基台（1），其具有与规定面平行的第1基准面；第2基台（2），其具有与规定面平行的第2基准面，并能够在第1基准面上沿与规定面内的第1轴线平行的方向移动；第1轴承构件（7），其设于第2基台，具有与第1基准面相对的第1气体供给口，并利用从第1气体供给口供给的气体在该第1轴承构件与第1基准面之间形成气体轴承；第2轴承构件（9），其在同规定面内的与第1轴线正交的第2轴线平行的方向上远离第1轴承构件地设于第2基台，具有与第1基准面相对的第2气体供给口，并利用从第2气体供给口供给的气体在该第2轴承构件与第1基准面之间形成气体轴承；以及工作台（3），其能够在第2基准面上沿与第2轴线平行的方向移动，在与第2轴线平行的方向上，第1轴承构件与第2轴承构件之间的距离比工作台的移动范围的尺寸长。 | ||
| 搜索关键词： | 工作台 装置 输送 | ||
【主权项】：
一种工作台装置，其中，该工作台装置包括：第1基台，其具有与规定面平行的第1基准面；第2基台，其具有与上述规定面平行的第2基准面，并能够在上述第1基准面上沿与上述规定面内的第1轴线平行的方向移动；第1轴承构件，其设于上述第2基台，具有与上述第1基准面相对的第1气体供给口，并利用从上述第1气体供给口供给的气体在该第1轴承构件与上述第1基准面之间形成气体轴承；第2轴承构件，其在同上述规定面内的与上述第1轴线正交的第2轴线平行的方向上远离上述第1轴承构件地设于上述第2基台，具有与上述第1基准面相对的第2气体供给口，并利用从上述第2气体供给口供给的气体在该第2轴承构件与上述第1基准面之间形成气体轴承；以及工作台，其能够在上述第2基准面上沿与上述第2轴线平行的方向移动，在与上述第2轴线平行的方向上，上述第1轴承构件与上述第2轴承构件之间的距离比上述工作台的移动范围的尺寸长。
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