[发明专利]具有低薄膜电阻、光滑表面和/或低热发射率的涂覆的玻璃有效
| 申请号： | 201380005112.X | 申请日： | 2013-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN104039731B | 公开（公告）日： | 2017-06-06 |
| 发明（设计）人： | A·甘卓;D·R·哈斯金斯;J·W·麦卡米;G·J·内里斯;P·托施 | 申请（专利权）人： | VITRO可变资本股份有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/36 | 分类号： | C03C17/36;C03C17/34 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 孙悦 |
| 地址： | 墨西哥*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种具有导电膜的玻璃板，其的薄膜电阻是9.5‑14.0欧姆/平方；发射率是0.14‑0.17和在400‑1100纳米波长范围内的吸收系数大于1.5x103cm‑1，和表面粗糙度小于15纳米均方根。本发明另一种实施方案的玻璃板具有在该玻璃板表面上的导电膜，其具有磷‑氟掺杂的氧化锡热解沉积的膜，其中磷前体与锡前体之比大于0‑0.4。本发明的涂覆的玻璃板可以用于制造多板绝缘单元、OLED和太阳能电池。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 薄膜 电阻 光滑 表面 低热 发射 玻璃 | ||
【主权项】：
一种涂覆的玻璃板，其包含：具有表面的玻璃基底，和在该玻璃基底表面上的热解化学气相沉积的氟掺杂的氧化锡膜，和在该热解化学气相沉积的氟掺杂的氧化锡膜和基底之间的包含混合的金属氧化物的梯度层的颜色抑制层，该热解化学气相沉积的氟掺杂的氧化锡膜的薄膜电阻范围在9.5‑14.0欧姆/平方；发射率是0.14‑0.17和在400‑1100纳米波长范围中的吸收系数大于1.5x103cm‑1，和表面高度均方根小于15纳米，其中所述薄膜电阻、发射率、吸收系数和表面高度均方根是在3.2毫米的基底厚度测定的，该热解化学气相沉积的氟掺杂的氧化锡膜的厚度是500‑540纳米且氟与氧化锡原子比是0.006‑0.010，其中该热解化学气相沉积的氟掺杂的氧化锡膜具有第一表面和相对的第二表面，该第一表面面向该玻璃基底且该第二表面远离该玻璃基底，该热解化学气相沉积的氟掺杂的氧化锡膜的第二表面包含结晶表面，其中氟掺杂的氧化锡导电膜的晶体的取向为(200)随后是(211)，并且通过θ/2θx‑射线衍射来测定，其中(200)随后是(211)的晶体取向提供了小于15纳米的表面高度均方根和范围在9.5‑14.0欧姆/平方的薄膜电阻。
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