[发明专利]光学装置、光学测试台及光学测试方法有效
| 申请号： | 201380005404.3 | 申请日： | 2013-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN104136902B | 公开（公告）日： | 2018-01-23 |
| 发明（设计）人： | E·皮特;V·派逖特;P·勒科克 | 申请（专利权）人： | 卡斯蒂安测试与服务公司 |
| 主分类号： | G01M11/04 | 分类号： | G01M11/04;G01J1/02;G02B15/16;G02B26/08;H04N17/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 郭思宇 |
| 地址： | 法国埃*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种光学系统，包括称为准直光波(OLcol)的平面光波的生成装置(106)，和准直光波偏置装置(114)，用于提供称为测试光波(OLtest)的光波，所述偏置装置(114)呈现可调的焦距。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 装置 测试 方法 | ||
【主权项】：
一种光学系统，其特征在于，所述光学系统包括：‑称为准直光波(OLcol)的平面光波的生成装置(106)，‑准直光波偏置装置(114)，用于提供称为测试光波(OLtest)的光波，所述偏置装置(114)呈现出可调节的焦距，和‑镜(116)，被配置于待测试的单元(104)的一侧，以接收一部分准直光波(OLcol)，而不掩蔽待测试的单元(104)，其中所述准直光波(OLcol)的生成装置(106)包括部分透明且呈现一定图案的屏幕(110)，所述屏幕(110)被安置穿过源光波(OLsource)以遮掩一部分源光波和使称为测试图光波的另一部分源光波通过。
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