[发明专利]飞行时间二次离子质谱分析装置用试样固定部件无效

专利信息
申请号: 201380007772.1 申请日: 2013-01-29
公开(公告)号: CN104081195A 公开(公告)日: 2014-10-01
发明(设计)人: 前野洋平 申请(专利权)人: 日东电工株式会社
主分类号: G01N27/64 分类号: G01N27/64;C01B31/02;H01J49/40
代理公司: 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人: 龙淳
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种飞行时间二次离子质谱分析装置用的试样固定部件,其能够防止固体试样的污染,能够稳定地固定固体试样,并且在飞行时间二次离子质谱分析装置中能够实现二次离子的准确检测。本发明的飞行时间二次离子质谱分析装置用试样固定部件包含具备多个长度200μm以上的纤维状柱状物的纤维状柱状结构体。
搜索关键词: 飞行 时间 二次 离子 谱分析 装置 试样 固定 部件
【主权项】:
一种飞行时间二次离子质谱分析装置用试样固定部件,其特征在于,包含:具备多个长度200μm以上的纤维状柱状物的纤维状柱状结构体。
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