[发明专利]压印装置和压印方法以及物品制造方法

摘要

提供一种压印装置，该压印装置具有：施加单元；包含辅助板的基板保持单元；包含当模子按压向压射区域施加的未固化树脂时伴随从施加单元的施加位置到进行按压的按压位置的通过基板保持单元的驱动的压射区域的移动向模子与基板之间的间隙空间供给气体的多个供给出口的气体供给单元；和选择用于供给气体的供给出口使得在施加了未固化树脂的压射区域向按压位置移动的同时多个供给出口之中的供给气体的供给出口与基板或辅助板对置并且控制压射区域的移动方向的控制器。

主权项

一种压印装置，所述压印装置通过模子使基板上的未固化的树脂成形和固化，并在基板上形成固化的树脂图案，所述压印装置包括：施加单元，所述施加单元向基板上的压射区域施加未固化的树脂；基板保持单元，所述基板保持单元保持和移动基板，并且包含辅助板，所述辅助板设置在基板的周边而使得表面高度与基板的表面高度对齐；气体供给单元，所述气体供给单元包含多个供给出口，当模子按压被施加到压射区域的未固化的树脂时，伴随从施加单元的施加位置到进行按压的按压位置的通过基板保持单元的驱动的压射区域的移动，所述气体供给单元向模子与基板之间的间隙空间供给气体；和控制器，所述控制器选择用于供给气体的供给出口，以使得在被施加了未固化的树脂的压射区域向按压位置移动的同时多个供给出口之中的供给气体的供给出口与基板或辅助板对置，并且所述控制器控制压射区域的移动方向。