[发明专利]Fe-Co系合金溅射靶材及其制造方法有效
| 申请号： | 201380011999.3 | 申请日： | 2013-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN104145043A | 公开（公告）日： | 2014-11-12 |
| 发明（设计）人： | 福冈淳;齐藤和也;坂卷功一;畠知之 | 申请（专利权）人： | 日立金属株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F3/14;C22C19/07;C22C38/00;G11B5/667;G11B5/851;B22F9/04;B22F9/08 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供原子比的组成式表示为(Fea-Co100-a)100-b-c-d-Tab-Nbc-Md(0＜a≤80、0≤b≤10、0≤c≤15、5≤b+c≤15、2≤d≤20、15≤b+c+d≤25，M表示选自由Mo、Cr和W组成的组中的一种以上的元素)，包含由不可避免的杂质组成的余量，并且300℃下的断裂弯曲应变εfB为0.4％以上的Fe-Co系合金溅射靶材。 | ||
| 搜索关键词： | fe co 合金 溅射 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种Fe‑Co系合金溅射靶材，其中，原子比的组成式表示为(Fea‑Co100‑a)100‑b‑c‑d‑Tab‑Nbc‑Md(0＜a≤80、0≤b≤10、0≤c≤15、5≤b+c≤15、2≤d≤20、15≤b+c+d≤25，M表示选自由Mo、Cr和W组成的组中的一种以上的元素)，包含由不可避免的杂质组成的余量，并且300℃下的断裂弯曲应变εfB为0.4％以上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于日立金属株式会社，未经日立金属株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201380011999.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：排水链系统和清洗链条的方法
- 下一篇：酶的保存方法
- 同类专利
- 专利分类
