[发明专利]光学部件

摘要

一种光学部件(40)，包含反射镜阵列(22)，该反射镜阵列具有多个反射镜元件(23)，多个反射镜元件各连接到用于位移的至少一个致动器(131)；用于致动器到外部的信号传输连接的多个信号线(47)；用于预定单独反射镜元件(23)的绝对位置的全局控制/调节装置(134)；及用于调节反射镜元件(23)的定位的多个本地调节装置(136)，其中，所述调节装置(136)在各个情况中均完全集成在所述部件(40；40a)中。

主权项

一种光学部件(40；40a)，包含：a.反射镜阵列(22)，具有多个反射镜元件(23)，i.所述多个反射镜元件各具有至少一个位移自由度，以及ii.所述多个反射镜元件各连接至用于位移的至少一个致动器(131)，b.承载结构(43)，其机械地连接至所述反射镜阵列(22)，c.多个信号线(47)，用于所述致动器(131)与外部全局控制/调节装置(134)的信号传输连接，所述外部全局控制/调节装置(134)用于预定单独反射镜元件(23)的绝对位置，以及d.用于调节所述反射镜元件(23)的定位的多个本地调节装置(136)，e.其中，全体所述反射镜元件(23)形成所述反射镜阵列(22)的总反射表面的拼接，f.其中，所述反射镜阵列(22)具有垂直于表面法线(41)延伸的总表面，g.其中，所述承载结构(43)在垂直于所述表面法线(41)的方向上突出所述反射镜阵列(22)的总表面之外至多5mm，以及h.其中，所述本地调节装置(136)分别完全集成在所述部件(40；40a)中，其中，所述本地调节装置导致以特定频率范围有效制动所述反射镜元件的振动，该特定频率范围对应于反射镜元件的固有频率或其几倍的范围。