[发明专利]微粒污染物测量方法和装置有效
| 申请号： | 201380018477.6 | 申请日： | 2013-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN104204954A | 公开（公告）日： | 2014-12-10 |
| 发明（设计）人： | A·德乔恩;J·范德东克 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司;荷兰国家应用科学研究院 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴敬莲 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明公开一种微粒污染物测量方法和设备。该方法例如包括：将聚氨酯弹性体(2)的测量表面(5)压靠待测的表面(7)；从该表面移除聚氨酯弹性体而不留下残余物；随后，使用光学设备(11)检测已经通过聚氨酯弹性体从该表面移除并且已经附着至聚氨酯弹性体的微粒(8)。 | ||
| 搜索关键词： | 微粒 污染物 测量方法 装置 | ||
【主权项】：
一种微粒污染物测量设备，包括载体承载的聚氨酯弹性体层，该载体配置成允许聚氨酯弹性体的测量表面压靠待测的表面并且随后被移除。
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