[发明专利]ESD测试检查装置和ESD测试检查方法

摘要

本发明要解决的技术问题是在ESD测试的高电压符合检查和高电压通电检查中迅速并且准确地进行ESD测试检查。作为ESD测试检查装置(1)，具有用于对一个或多个检查对象器件进行检查ESD耐性的ESD施加测试的ESD测试装置(10)；和用于诊断ESD施加电压波形的符合与否的诊断电路(5)。诊断电路(5)具有连接在该ESD测试装置(10)的高电压输出端(探针(11))间的可变电阻(2)与分压电阻(3)的串联电路；和连接在该分压电阻(3)的两端间的作为发光单元的发光检验用LED(4)。

主权项

一种ESD测试检查装置，其特征在于：在对一个或多个检查对象器件分别施加高电压以一并检查ESD耐性的ESD测试装置的各高电压输出端间连接有诊断单元，利用该诊断单元，能够诊断是否已从该ESD测试装置施加了各高电压或者该各高电压是否符合规定的高电压值，所述诊断单元具有：连接在所述ESD测试装置的各高电压输出端间的可变电阻与分压电阻的串联电路；和在该分压电阻的两端间正向连接的发光单元，利用所述诊断单元进行的诊断，根据所述发光单元的发光的有无来进行，在所述诊断时，将所述高电压的放电周期重复规定期间，使得利用残像效果使所述发光可视化，由此使所述发光单元的发光连续，使用所述ESD测试装置的高电压电源和输出其以外的各高电压的多个ESD电路，对每个该ESD电路连接有所述诊断单元，在具有多个所述ESD电路的情况下，至少所述发光单元在电路基板上排列有多个，所述电路基板的一个连接单元与连接在所述ESD电路的高电压输出端间的另一个连接单元连接，对每个该ESD电路连接有所述发光单元，所述电路基板的一个连接单元是凸销插口，连接在所述ESD电路的高电压输出端间的另一个连接单元是凹销插口。