[发明专利]带电粒子束调整支援装置以及方法

摘要

本发明提供一种能够支援具有三维观察功能的带电粒子束装置的调整作业并降低调整值输入所需要的人力资源工时的带电粒子束调整支援装置。调整值获取部根据基于从带电粒子束调整者终端输入的信息而生成的二维调整值信息、和二维一三维调整值对应信息，来生成最佳的三维调整值信息，并发送给带电粒子束装置，进行设定。因此，带电粒子束调整者能降低三维观察所需要的调整作业，能容易地进行三维图像的观察作业。

主权项

一种带电粒子束调整支援装置，支援进行三维显示的带电粒子束装置的调整，所述带电粒子束调整支援装置的特征在于，具备：二维调整值设定单元，其从调整者终端受理所述带电粒子束装置中的二维调整值，并发送给所述带电粒子束装置；三维调整值设定单元，其从所述调整者终端受理所述带电粒子束装置中的三维调整值，并发送给所述带电粒子束装置；调整值对应计算单元，其将所述二维调整值和所述三维调整值建立关联来生成二维‑三维调整值对应信息，并保存在存储装置中；和调整值获取单元，其基于所述二维调整值而从保存在所述存储装置中的所述二维‑三维调整值对应信息之中检索类似的二维调整值，并获取所对应的三维调整值。