[发明专利]分光传感器有效
| 申请号： | 201380023122.6 | 申请日： | 2013-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN104303032B | 公开（公告）日： | 2016-11-30 |
| 发明（设计）人： | 柴山胜己;笠原隆 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G02B6/293 | 分类号： | G02B6/293 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 分光传感器(1A)包括干涉滤光部(20A)、光检测基板(30A)和隔板(15)。干涉滤光部(20A)具有腔层(21)以及隔着腔层(21)相对的第1和第2镜层(22、23)，根据入射位置选择性地使规定的波长范围的光从第1镜层(22)侧透过至第2镜层(23)侧。光检测基板(30A)具有透过了干涉滤光部(20A)的光进行入射的受光面(32a)，对入射到受光面(32a)的光进行检测。隔板(15)从腔层(21)到达第1和第2镜层(22、23)的至少一方，在从与受光面(32a)交叉的规定的方向观察的情况下将干涉滤光部(20A)光学性地分离。 | ||
| 搜索关键词： | 分光 传感器 | ||
【主权项】：
一种分光传感器，其特征在于，包括：干涉滤光部，其具有设置有腔层以及隔着所述腔层相对的第1和第2镜层并且所述第1镜层与所述第2镜层之间的距离变化的第1区域、以及在从规定的方向观察的情况下以环状包围所述第1区域的第2区域，在所述第1区域上根据入射位置选择性地使规定的波长范围的光从所述第1镜层侧透过至所述第2镜层侧；光检测基板，其具有透过了所述第1区域的光进行入射的受光面，对入射到所述受光面的光进行检测；以及隔板，其从所述腔层到达所述第1和所述第2镜层的至少一方，在从所述规定的方向观察的情况下将所述第1区域光学性地分离，所述规定的方向是与所述受光面交叉的方向，所述腔层遍及所述第1区域以及所述第2区域，连续地形成。
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