[发明专利]具有独立能旋转机身中段的机械手系统、设备及方法

摘要

描述电子装置处理系统及机械手设备。此系统及装置适于通过具有能独立旋转的第一及第二悬臂及能独立旋转的第一及第二上臂而有效地取放基板进入双腔室，其中每一上臂具有前臂、腕部构件及端效器，所述端效器适于承载基板，所述基板耦接于端效器。在某些实施例中，悬臂构件和上臂通过共轴驱动轴而驱动。公开共轴及非共轴驱动马达。如多种其它方面，提供操作机械手设备及处理系统的方法。

主权项

一种机械手设备，包括：第一悬臂，适于围绕第一旋转轴旋转；第一上臂，所述第一上臂在自所述第一旋转轴偏离的位置处耦接所述第一悬臂，所述第一上臂能独立围绕第二旋转轴相对于所述第一悬臂旋转；第一前臂，所述第一前臂耦接所述第一上臂，并适于相对于所述第一上臂围绕第三旋转轴旋转，所述第三旋转轴在自所述第二旋转轴偏离的位置处；第一前臂驱动组件，所述第一前臂驱动组件具有第一前臂驱动构件，所述第一前臂驱动构件刚性地耦接所述第一悬臂；第一腕部构件，所述第一腕部构件耦接所述第一前臂，并适于相对于所述第一前臂围绕第四旋转轴旋转，所述第四旋转轴在自所述第三旋转轴偏离的位置处，所述第一腕部构件适于耦接第一端效器；以及第二悬臂，所述第二悬臂安置在所述第一悬臂上方且适于独立于所述第一悬臂围绕所述第一旋转轴旋转；第二上臂，所述第二上臂在自所述第一旋转轴偏离的位置处耦接所述第二悬臂，所述第二上臂能独立围绕第五旋转轴相对于所述第二悬臂旋转；第二前臂，所述第二前臂耦接所述第二上臂，并适于相对于所述第二上臂围绕第六旋转轴旋转，所述第六旋转轴在自所述第五旋转轴偏离的位置处；第二前臂驱动组件，所述第二前臂驱动组件具有与所述第二悬臂刚性地耦接的第二前臂驱动构件；以及第二腕部构件，所述第二腕部构件耦接所述第二前臂，并适于相对于所述第二前臂围绕第七旋转轴旋转，所述第七旋转轴在自所述第六旋转轴偏离的位置处，所述第二腕部构件适于耦接第二端效器，其中，所述第一端效器与所述第二端效器在水平方向上彼此水平偏离、且配置成并适于通过可在平行的纵向方向上延伸而被插入并服务邻近的、并列的双腔室，所述平行的纵向方向与所述水平方向垂直。