[发明专利]半导体晶片制造系统中向STB提供不活泼气体的方法和使用该方法的半导体晶片制造系统

摘要

本发明提供半导体晶片制造系统中向STB提供不活泼气体的方法和利用该方法的半导体晶片制造系统，上述半导体晶片制造系统中向STB提供不活泼气体的方法包括如下步骤检测前开式晶片传送盒装载到STB上并产生第一输入信号；以及根据所述第一输入信号使不活泼气体阀打开，向所述STB提供氮气。

主权项

一种半导体晶片制造系统中向STB提供不活泼气体的方法，其特征在于包括如下步骤：检测前开式晶片传送盒装载到STB上并产生第一输入信号；根据所述第一输入信号使不活泼气体阀打开，向所述前开式晶片传送盒内提供不活泼气体；当另外的STB以物理方式安装到所述半导体晶片制造系统上时，在显示部上显示端口追加画面；在利用所述端口追加画面以软件方式追加端口之后，使所述端口的输入输出装置有效；以及当利用使用者输入部将所述追加的端口配置在所述半导体晶片制造系统的端口上时，所述追加的端口有效，能够不关闭所述半导体晶片制造系统而安装并使用所述另外的STB，还包括如下步骤：当所述前开式晶片传送盒装载到所述STB上时，取得所述前开式晶片传送盒的ID信息并产生第二输入信号，根据所述第一输入信号使不活泼气体阀打开而向所述前开式晶片传送盒内提供氮气的步骤包括如下步骤：根据所述第一输入信号和所述第二输入信号，控制向所述前开式晶片传送盒内提供氮气。