[发明专利]用于检查算法和过滤器的视觉反馈

摘要

本发明针对给用于处理来自检查系统的测试和参考图像的检查算法和差分过滤器提供视觉反馈。用户接口可经配置以显示信息和接受用户命令。通信地耦合到所述用户接口的计算系统可经配置以接收由所述检查系统收集的至少一组测试和参考图像。所述计算系统可经进一步配置以经由所述用户接口而提供所述测试和参考图像的至少一个视觉表示以展示检查算法和/或差分过滤器的效应。

主权项

一种用于处理至少一组样品图像的系统，其包括：用户接口，其经配置以显示信息和接受用户命令；以及计算系统，其通信地耦合到所述用户接口，所述计算系统经配置以：接收至少一组样品图像；利用所选差分过滤器和所选检查算法中的至少一者来处理所述至少一组样品图像；以及经由所述用户接口而提供所述至少一组样品图像的至少一个视觉表示，所述至少一个视觉表示包含以下中的至少一者：带正负号的差分图像，其在所述差分图像的像素处具有用于识别所述至少一个样品的至少一个缺陷的极性的值，原始差分图像和经过滤差分图像的并列视图，光标，其经配置以选择与所述至少一个样品的至少一个缺陷相关联的一或多个像素，以及二进制散布图，其是利用所选检查算法而产生的。