[发明专利]对SEM-EDS数据集中的未知物的聚类分析有效

专利信息
申请号: 201380033415.2 申请日: 2013-06-28
公开(公告)号: CN104380088B 公开(公告)日: 2018-11-16
发明(设计)人: M.布霍特;V.H.范;M.J.欧文 申请(专利权)人: FEI公司
主分类号: G01N23/2251 分类号: G01N23/2251;G01N23/203
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 臧永杰;刘春元
地址: 美国俄*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 发明公开了用于确定由包括初始未知数据点的整个SEM‑EDS数据集表示的矿物含量的方法。SEM‑EDS数据点被取得并与已知数据点的集合进行比较。与已知数据点不足够类似的任何数据点被分类为未知,并且与如同未知数据点聚类。在对所有数据点进行分析之后,具有足够数量的数据点的未知数据点的任何聚类被进一步分析以确定它们的特征。具有允许进一步分析的不足够数量的数据点的未知数据点的所有聚类被视为异常值并被丢弃。
搜索关键词: sem eds 数据 集中 未知 聚类分析
【主权项】:
1.一种用于确定样本的矿物含量的方法,所述方法包括:朝向未知成分的样本上的多个点指引电子束;获得包括数据点的信息,这通过检测作为电子束撞击样本上的多个点的结果所发射的x射线以获取x射线光谱,所述x射线光谱包括所述数据点;比较样本数据点与已知数据点的集合,已知数据点中的每一个对应于经标识的矿物;如果经分类的数据点的特征与已知数据点的特征类似,则将样本数据点分类为类似数据点,或者如果经分类的数据点的特征与任何已知数据点都不类似,则将样本数据点分类为不类似数据点;如果样本数据点被分类为不类似数据点则将样本数据点置于具有与样本数据点的那些特征类似的特征的不类似数据点的聚类中;重复前面的步骤以获得附加的样本数据点;对来自相同聚类内的多个样本数据点的光谱数据进行组合以产生表示聚类的改善的光谱;以及分析聚类的改善的光谱以确定由聚类所表示的矿物的元素含量。
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