[发明专利]金属醇盐化合物、薄膜形成用原料、薄膜的制造方法和醇化合物有效
| 申请号： | 201380035400.X | 申请日： | 2013-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN104470892A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 樱井淳;畑濑雅子;山田直树;白鸟翼;斋藤昭夫;吉野智晴 | 申请（专利权）人： | 株式会社艾迪科 |
| 主分类号： | C07C251/08 | 分类号： | C07C251/08;C23C16/16;C23C16/40;H01L21/28;H01L21/285;C07F1/08;C07F15/04;C07F15/06 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 陈建全 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： |
本发明提供一种具有适合作为CVD法中的薄膜形成用原料的物性的金属醇盐化合物，特别是具有适合作为金属铜薄膜形成用原料的物性的金属醇盐化合物。具体地说，提供一种由下述通式(I)表示的金属醇盐化合物以及含有该金属醇盐化合物的薄膜形成用原料。通式(I)中，R1表示甲基或乙基，R2表示氢原子或甲基，R3表示碳原子数为1～3的直链或分支状的烷基，M表示金属原子或硅原子，n表示金属原子或硅原子的价数。 |
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| 搜索关键词： | 金属 盐化 薄膜 形成 原料 制造 方法 醇化 | ||
【主权项】：
一种金属醇盐化合物，其由下述通式(I)表示，![]()
通式(I)中，R1表示甲基或乙基，R2表示氢原子或甲基，R3表示碳原子数为1～3的直链或分支状的烷基，M表示金属原子或硅原子，n表示金属原子或硅原子的价数。
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