[发明专利]划线方法及划线装置

摘要

划线装置(1)包括：工件工作台(6)，该工件工作台(6)对在上表面标记有对准标记M1、M2、M3…的作为脆性材料基板的玻璃基板(5)进行载置、定位、吸附固定；划线头(2)，该划线头(2)在工件工作台(6)的上方与玻璃基板(5)的上表面平行地在XY平面坐标系中移动；CCD照相机(10)，该CCD照相机(10)与划线头(2)并列设置，与划线头(2)一起成为一体；共用的X轴移动元件(3)及Y轴移动元件(4)，所述共用的X轴移动元件(3)及Y轴移动元件(4)使划线头(2)及CCD照相机(10)作为一体而在XY平面坐标系中移动；图像处理装置，该图像处理装置发出由CCD照相机(10)实施拍摄的指示，对拍摄到的图像进行图像处理及运算处理；以及NC装置，该NC装置对X轴移动元件(3)及Y轴移动元件(4)的移动进行数值控制。

主权项

一种划线方法，其特征在于,在将标记有对准标记的脆性材料基板依据设定在NC装置上的工件坐标系而在工作台的上表面进行了定位的状态下，使划线头和CCD照相机作为一体而利用共用的移动元件在所述工件坐标系中移动，使所述CCD照相机的相机中心与标记在所述脆性材料基板上且处于正交配置关系的至少三个点的对准标记M1、M2及M3的在所述工件坐标系中的设定坐标值M1(X＝X1，Y＝Y1)、M2(X＝X2，Y＝Y1)及M3(X＝X1，Y＝Y2)对齐，对各对准标记M1、M2及M3进行拍摄，对拍摄到的对准标记M1、M2及M3的图像进行图像处理，基于该图像处理的结果对所述对准标记M1、M2及M3各自的标记中心M1C、M2C及M3C的在所述工件坐标系中的实际位置的坐标值进行计量，基于这些标记中心M1C、M2C及M3C的计量得到的各坐标值，以及所述对准标记M1、M2及M3的设定坐标值M1(X＝X1，Y＝Y1)、M2(X＝X2，Y＝Y1)及M3(X＝X1，Y＝Y2)进行运算处理，变更为使所述对准标记M1的标记中心M1C的实际位置的所述坐标值成为被指示的坐标值(X＝0，Y＝0)，使所述对准标记M2的标记中心M2C的实际位置的所述坐标值成为被指示的坐标值(X＝X2–X1，Y＝0)，使所述对准标记M3的标记中心M3C的实际位置的所述坐标值成为被指示的坐标值(X＝0，Y＝Y2–Y1)的工件坐标系，在变更后的该工件坐标系中，使划线头基于程序进行移动，在处于定位状态的所述脆性材料基板上形成依据对准标记得到的划线。