[发明专利]调制装置和电源配置

摘要

本发明涉及一种在多细射束带电粒子光刻系统中根据图案数据来调制带电粒子细射束的调制装置。该装置包括板状主体；由多个细射束偏转器组成的阵列；多个电源终端(202至205)，用于供应至少两个不同的电压；多个控制电路；以及导电板条(201)，用于供电给电源终端(202至205)中的一者或多者。该板状主体被分成狭长的射束区(51)以及狭长的非射束区(52)，该射束区(51)与该非射束区(52)被定位成使得它们的长边彼此相邻。细射束偏转器被放置在射束区中。控制电路被放置在非射束区中。导电板条被连接至非射束区中的控制电路。导电板条包括多个薄的导电平板(202至205)。

主权项

一种用于带电粒子光刻系统(100)的调制装置，该带电粒子光刻系统(100)适于产生带电粒子细射束(123)，该调制装置被配置成用于根据图案数据来调制所述带电粒子细射束并且包括：‑板状主体(106)；‑被设置在所述板状主体(106)上用于偏转所述细射束的细射束偏转器(30)的阵列；‑多个电源终端(202至205)，用于供应至少两个不同的电压；‑多个控制电路(40、41)，设置在所述板状主体(106)上，以接收所述图案数据和供应对应的控制信号给所述细射束偏转器(30)，其中，所述控制电路(40、41)由所述多个电源终端(202至205)馈电；以及‑导电板条(201)，配置成为所述电源终端(202至205)中的一者或多者供电，其中，所述调制装置的所述板状主体被分成狭长的射束区(51)以及狭长的非射束区(52)，所述非射束区(52)被定位成邻近所述射束区(51)，使得所述射束区(51)的一长边邻接相邻的非射束区(52)的一长边，其中，所述细射束偏转器设置在所述射束区(51)，其中，所述控制电路(40、41)设置在所述非射束区(52)，用于向所述细射束偏转器(30)提供控制信号；其中，所述导电板条(201)连接至所述非射束区(52)中的一个或多个所述电源终端，所述导电板条(201)包括多个薄的导电平板，其中每个薄的导电平板的厚度与该平板的板面的面积的平方根的比值小于0.01，并且其中，所述导电板条包括多个导电平板，它们被配置成将正向电流从电源传导至所述控制电路和细射束偏转器；以及至少一个导电平板，其被配置成将返回电流从所述控制电路和细射束偏转器传导至所述电源，其中，所述正向电流等于所述返回电流。