[发明专利]粗糙化的基板支撑件

摘要

本发明一般是有关于一种用于在一基板处理腔体中使用的基板支撑件。一粗糙化的基板支撑件减少在腔体内的电弧且亦提供均匀沉积于基板上。粗糙化可以两个步骤执行。于一第一步骤中，基板支撑件是进行喷珠以初步地粗糙化表面。接着，粗糙化的表面是以较细的磨粒进行喷珠，以产生一具有介于约707微英寸及约837微英寸间的表面粗糙度的基板支撑件。在表面粗糙化之后，基板支撑件进行阳极处理。

主权项

一种形成粗糙化的基板支撑件的方法，包括：于第一工艺中对基板支撑件的表面进行喷珠，其中所述珠体具有第一磨粒尺寸；以及于第二工艺中对所述基板支撑件的所述表面进行喷珠，其中所述珠体具有第二磨粒尺寸，所述第二磨粒尺寸小于所述第一磨粒尺寸。