[发明专利]自动化EDS标准校准

摘要

本发明涉及一种用于确定未知样本的组成的方法和系统。本发明包括一种对x射线光谱仪进行校准的方法，其不要求在用来测量要分析的未知样本的操作条件下测量所有可能元素。根据优选实施例，可以从单个元素标准的x射线光谱对本地仪表进行校准。该仪表将具有包含用于被分析的所有元素的高质量光谱的存储库。将单个元素的分析与用于该元素的库光谱相比较以定义用来创建已校准光谱库的变换，该已校准光谱库包括用于原始库中的每个光谱的已校准光谱。结果，可以将由本地仪表产生的光谱与已校准库光谱相比较以确定未知矿物中的元素。

主权项

一种实施能量色散x射线光谱学的方法，包括：通过以下各项来使用源仪表创建库光谱：使用源仪表的电子源和聚焦光学件朝着一个或多个元素标准指引电子束；使用源仪表的x射线检测器获得一个或多个元素标准的能量色散x射线光谱；根据一个或多个元素标准的光谱来创建光谱库；通过以下各项来使用现场仪表创建具有比库光谱低的分辨率的校准光谱：使用现场仪表的电子源和聚焦光学件朝着元素标准样本指引电子束；使用现场仪表的x射线检测器获得元素标准样本的能量色散x射线光谱；将元素标准样本的光谱与光谱库的元素标准相比较；基于元素标准样本的光谱与光谱库的元素标准的比较来确定变换；将该变换应用于光谱库以生成已校准光谱库；通过以下各项来使用现场仪表确定未知矿物组成的样本中的元素：使用现场仪表的电子源和聚焦光学件朝着未知矿物样本指引电子束；使用现场仪表的x射线检测器获得未知矿物样本的能量色散x射线光谱；以及将未知矿物样本的所获得的光谱与已校准光谱库相比较。