[发明专利]显像液的处理装置和处理方法有效
| 申请号： | 201380041273.4 | 申请日： | 2013-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN104508562B | 公开（公告）日： | 2018-10-12 |
| 发明（设计）人： | 堀内健;近藤笃司 | 申请（专利权）人： | 东丽株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;B01D19/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李志强;杨思捷 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于，提供：消除与产生浮渣伴随的问题，非常有助于改善产品不良率、提高制备装置的运行率或通过高效率地回收贵金属来降低制备成本等的显像液的处理装置和处理方法。本发明提供显像液的处理装置，其中，所述装置具备：通过离心将显像处理后的显像液分离为澄清液和残渣的离心机，和将上述澄清液脱泡并排出的脱泡装置。 | ||
| 搜索关键词： | 显像 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.具备通过离心将显像处理后的显像液分离为澄清液和残渣的离心机和将所述澄清液脱泡并排出的脱泡装置的显像液的处理装置，其中，所述显像液的处理装置具备：所述离心机，贮存所述澄清液的第1罐，将所述第1罐内的澄清液脱泡并排出的所述脱泡装置，将从所述脱泡装置排出的澄清液与未使用的显像液混合并贮存的第2罐，和将从所述第2罐溢出的澄清液从所述第1罐的上方供给至所述第1罐的单元，其中，在所述第1罐中贮存的澄清液的液面与在所述第2罐中贮存的澄清液的液面的高低差为5cm以上。
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