[发明专利]减压夹具以及使用减压夹具的被加压物的加压方法有效

专利信息
申请号: 201380041442.4 申请日: 2013-09-13
公开(公告)号: CN104520977B 公开(公告)日: 2018-05-18
发明(设计)人: 长坂政彦;中岛章五;杉野修;古川恭治 申请(专利权)人: 新东工业株式会社
主分类号: H01L21/56 分类号: H01L21/56;H01L21/02
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 李洋;苏琳琳
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供能够在收纳有被加压物的空间充分减压后,进行被加压物的加压的减压夹具以及使用该减压夹具的被加压物的加压方法。减压夹具(1)将第一减压部件(10)、第二减压部件(20)、密封部件(30)、第一预备减压部件(40)以及第二预备减压部件(50)组合而构成。第一减压部件(10)通过在第一框状部件(11)铺设由具有可挠性的薄片状的部件构成的第一薄片部件(12)而形成。在第一框状部件(11)形成有经由排气口(14)与排气装置连接并与收纳空间(S)连通的排气路(15)。第一预备减压部件(40)在与第一薄片部件(12)之间形成预备减压室(Y),能够使预备减压室(Y)内部减压。
搜索关键词: 减压 夹具 以及 使用 加压 方法
【主权项】:
1.一种减压夹具,其为了通过加压单元对进行加压处理的被加压物进行加压,而对收纳有被加压物的收纳空间进行减压,所述减压夹具的特征在于,具备:第一减压部件,其具备形成为框状的第一框状部件、和铺设于该第一框状部件的第一薄片部件;保持部件,其与所述第一减压部件对置配置,在该保持部件与所述第一减压部件之间收纳所述被加压物;密封部件,其配置于所述第一框状部件与所述保持部件之间,将所述第一减压部件与所述保持部件之间的空间形成为气密状态,形成能够收纳所述被加压物的收纳空间;以及第一预备减压部件,其构成为,与第一减压部件对置并配置于与所述保持部件相反的一侧,在该第一预备减压部件与所述第一薄片部件之间形成预备减压室,能够使所述预备减压室减压,所述第一预备减压部件能从所述具备第一薄片部件的第一减压部件取下,在所述被加压物被加压单元加压时,取下第一预备减压部件,所述第一预备减压部件具备朝向所述预备减压室内部形成的减少预备减压室的体积的隔板。
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