[发明专利]固定侧部件及真空泵有效
| 申请号： | 201380042444.5 | 申请日： | 2013-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN104520591B | 公开（公告）日： | 2017-03-08 |
| 发明（设计）人： | 坂口祐幸;伊藤彰浩;大立好伸;前岛靖;高阿田勉 | 申请（专利权）人： | 埃地沃兹日本有限公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 张雨,李婷 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种在真空泵中配设的固定侧部件及具备该固定侧部件的真空泵，在真空泵中，在作为压力较高从而生成物（堆积物）容易堆积的部分即螺纹槽式泵部的下侧，不配设隔热件，便能防止生成物的堆积。在具备螺纹槽式泵部的真空泵中，配设热传导率值比既定的值小的螺纹槽衬垫。（1）将螺纹槽衬垫用热传导率值比与螺纹槽衬垫对置或接触的部件小的材料制造。具体而言，优选的是热传导率值比铝或铝合金小的不锈钢、强化纤维塑料、聚醚酰亚胺、聚醚醚酮中的任意1种材料。（2）将螺纹槽衬垫用包括至少两个以上的多个零件的零件群构成。 | ||
| 搜索关键词： | 固定 部件 真空泵 | ||
【主权项】：
一种固定侧部件，用于真空泵的第1气体移送机构，所述真空泵具备形成有吸气口和排气口的外装体、配设在所述外装体的内侧的固定部、被所述外装体内包且旋转自如地被支承的旋转轴、和固定在所述旋转轴上的旋转体，其特征在于，所述固定侧部件用热传导率值比第2部件小的第1部件制造，所述第2部件是所述外装体和所述固定部中与所述固定侧部件接触的部件。
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