[发明专利]驱动系统和驱动方法、以及曝光装置和曝光方法

摘要

通过使用与第一以及第二测量器的测量结果(X₂、X₁)对应的增益(或者传递函数)(α、β)求出合成量(X_c＝αX₂+βX₁)，并分别经由高通滤波器(F₁)和低通滤波器(F₂)合成该合成量(X_c)和第一以及第二测量器的一方的测量结果(X₂、X₁)，从而求出合成控制量(X_mix＝F₁(X_c)+F₂(X₂、X₁))。构成使用合成控制量(X_mix)和目标值(R)求出操作量(U)，并将该操作量(U)赋予控制对象的反馈控制系统。由此，不需要追加用于除去第一以及第二测量器的设置位置的偏移的高通滤波器，能够与谐振出现的频带无关地设计在高频带强健的控制平板工作台(PST)的驱动的驱动系统。

主权项

1.一种驱动系统，其赋予操作量来驱动控制对象，该驱动系统具备：第一测量器，其测量与所述控制对象的第一部分的位置相关的第一控制量；第二测量器，其测量与表示包含谐振模式的行为的所述控制对象的第二部分的位置相关的第二控制量，该谐振模式相对于所述第一部分表示的刚体模式反相；以及控制部，其使用所述第一测量器的所述第一控制量的测量结果X1、所述第二测量器的所述第二控制量的测量结果X2以及比例增益α、β来求出合成量Xc＝αX2+βX1，并进行将所述合成量经由第一滤波器F1的值和所述第一控制量以及第二控制量的一方的测量结果经由第二滤波器F2的值合成的滤波处理来求出第三控制量Xmix＝F1(Xc)+F2(X2、X1)，并将使用该第三控制量求出的所述操作量赋予所述控制对象。