[发明专利]信息记录介质用玻璃基板的制造方法有效
申请号: | 201380045143.8 | 申请日: | 2013-06-18 |
公开(公告)号: | CN104603877B | 公开(公告)日: | 2018-06-26 |
发明(设计)人: | 小松隆史 | 申请(专利权)人: | HOYA株式会社 |
主分类号: | G11B5/84 | 分类号: | G11B5/84;B24B37/26 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 李辉;黄纶伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 在该信息记录介质用玻璃基板的制造方法中,在向研磨垫(410)供给浆液的状态下,研磨垫(410)对玻璃基板(1)的吸附力在0.50g/cm2以上且15g/cm2以下。 | ||
搜索关键词: | 玻璃基板 信息记录介质 研磨垫 供给浆液 吸附力 制造 | ||
【主权项】:
1.一种信息记录介质用玻璃基板的制造方法,所述信息记录介质用玻璃基板的制造方法使用研磨装置,所述研磨装置在平台上安装有由含有连通的多个发泡孔的部件构成的研磨垫,并使用所述研磨垫对玻璃基板的表面进行研磨,所述信息记录介质用玻璃基板的制造方法包括以下的工序:将所述玻璃基板载置到所述平台上的工序;利用所述研磨装置一边向所述玻璃基板供给液体状研磨剂一边对所述玻璃基板的表面进行研磨的工序;以及从所述平台取出研磨后的所述玻璃基板的工序,在向所述研磨垫供给了所述液体状研磨剂的状态下,所述研磨垫中的至少下侧研磨垫对所述玻璃基板的吸附力在0.50g/cm2以上且15g/cm2以下。
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