[发明专利]用于工件分离的方法及装置及借此制造的物品

摘要

本发明涉及一种用于自一共同基板分离一工件的方法。该方法包括以下步骤：提供该工件；在一射束源中产生一激光脉冲束，该激光脉冲束组配来修改该工件的一部分；基于该工件的一特征测定用于建立一修改区的一深度；以及修改该工件内的多个区以形成多个修改区。修改多个区包括：将来自该射束源的一输出的该激光脉冲束导向至该工件上；引起该工件与该射束源的该输出之间的相对运动，同时将该激光脉冲束导向至工件上；以及在产生大量脉冲之后修改该射束的该脉冲的一特征，其通常相应于建立该修改区至经测定的该深度。

主权项

1.一种方法，该方法包括：提供一工件，其具有一第一表面、与该第一表面相对的一第二表面以及该第一表面与该第二表面之间的一内部；产生一聚焦的激光脉冲射束，该聚焦的激光脉冲射束是以束腰为特征，其中该束腰在该射束内的激光脉冲能达到一第一通量之处；以及该工件内形成多个修改区，各修改区的形成是自该工件的该第二表面开始且自该工件的该第二表面延伸至该内部中，其中形成该多个修改区中的各修改区包括：将该激光脉冲射束导引至该工件上，以使得该射束内的激光脉冲穿过该工件的该第一表面进入该内部中并朝向该第二表面，在引起该工件与该激光脉冲射束之间的相对运动的同时，修改该工件的多个部分，以使得该工件的该多个部分中的至少一个部分是在该工件的该第二表面处，且使得该工件的至少一修改部分是利用以小于该第一通量但足以修改该工件的额外部分的通量为特征的一激光脉冲照射；以及在以一激光脉冲照射该工件的该至少一修改部分之后，修改该激光脉冲射束的特征，使得该工件的至少一修改部分不是利用以足以修改该工件的一部分的通量为特征的一激光脉冲照射。