[发明专利]反射镜有效
| 申请号： | 201380048023.3 | 申请日： | 2013-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN104641296B | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | I.萨恩杰;J.劳夫;M.恩德雷斯;T.艾森曼 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 具有分片总表面区的反射镜，其中分片形成非周期布置。 | ||
| 搜索关键词： | 反射镜 非周期 总表面 | ||
【主权项】：
1.具有分片总表面区(24)的用于光学系统(27)或检查设备的反射镜(20)，包含：a.多个第一区域(22)，其中全体所述第一区域形成所述反射镜的分片遮挡；以及b.至少一个第二辐射反射式区域(23)，c.其中，所述第一区域分别在结构上由所述至少一个第二辐射反射式区域定界且因此被周向环绕，d.其中，所述第一区域(22)非周期地布置，e.其中，所述第一区域(22)具有在1mm至20mm范围内的直径，并且f.其中，所述光学系统包含照明光学单元和投射光学单元，并且所述检查设备用于检查反射式光刻掩模或用于检查曝光的晶片基板。
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