[发明专利]压力传感器以及具备该压力传感器的传感器单元有效
| 申请号： | 201380054448.5 | 申请日： | 2013-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN104736983A | 公开（公告）日： | 2015-06-24 |
| 发明（设计）人： | 石川琢郎;金井佑二;松并和宏 | 申请（专利权）人： | 株式会社鹭宫制作所;富士电机株式会社 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 张敬强;严星铁 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 传感器芯片(1)中，在其主体部接地的状态下，形成于电路层(72)的上方的构成屏蔽电极的屏蔽层(71)经由电阻体(46)接地。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 以及 具备 传感器 单元 | ||
【主权项】：
一种压力传感器，其特征在于，构成为具备：传感器芯片，其构成为包含：具备具有多个压力检测元件且能够根据作用的压力来位移的可动部和与该可动部连接的固定部的主体部、形成于在该主体部上层叠的第一层且经由导电层与该压力检测元件连接的电路、以及形成于在该第一层上层叠的第二层的屏蔽层；以及电阻体，其连接于上述屏蔽层与规定的电位之间。
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