[发明专利]用于光刻的传感器系统有效
| 申请号： | 201380059143.3 | 申请日： | 2013-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN104823112B | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | H·科克;R·J·沃格德 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;张宁 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种用于测量物理量的传感器系统，系统包括具有多个检测器以允许在不同空间位置处并行测量的并行检测设置，其中多个检测器共享噪声源，其中配置传感器系统以使得多个检测器每个输出作为物理量的函数的信号，以及其中配置传感器系统以使得至少一个检测器与一个或多个其他检测器相比不同地响应于源自共享噪声源的噪声。 | ||
| 搜索关键词： | 检测器 传感器系统 配置传感器 噪声源 物理量 测量物理量 并行测量 并行检测 空间位置 地响应 共享 光刻 噪声 输出 | ||
【主权项】：
1.一种控制系统，所述系统包括：传感器系统，用以测量物理量，所述传感器系统包括具有多个检测器以允许在不同空间位置处并行测量的并行检测设置，致动器；以及控制单元，被配置成基于所述多个检测器的输出提供驱动信号至所述致动器；其中所述多个检测器共享噪声源，其中所述传感器系统被配置为使得所述多个检测器均输出根据所述物理量的信号，其中所述传感器系统被配置为使得至少一个检测器与一个或多个其他检测器相比不同地响应于源自所共享噪声源的噪声，其中所述多个检测器和所述致动器被配置成使得所述多个检测器的输出中的因源自所述噪声源的噪声所致的信号变化无法由所述致动器跟随或无法由所述致动器完全跟随，以及其中所述多个检测器输出根据所述物理量的周期性变化的信号，以及其中来自所述至少一个检测器的周期性变化的信号与所述一个或多个其他检测器的周期和/或相位不同。
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