[发明专利]晶体管、存储器单元及半导体构造在审
申请号: | 201380059900.7 | 申请日: | 2013-10-15 |
公开(公告)号: | CN104798200A | 公开(公告)日: | 2015-07-22 |
发明(设计)人: | 尼马尔·拉马斯瓦米;柯尔克·D·普拉尔;韦恩·肯尼 | 申请(专利权)人: | 美光科技公司 |
主分类号: | H01L27/108 | 分类号: | H01L27/108 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 路勇 |
地址: | 美国爱*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 一些实施例包含具有延伸到半导体基底中的栅极的半导体构造。导电掺杂源极及漏极区域在基底中与栅极邻近。栅极电介质具有:第一区段,其介于源极区域与栅极之间;第二区段,其介于漏极区域与栅极之间;及第三区段,其介于第一区段与第二区段之间。栅极电介质的至少一部分包括铁电材料。在一些实施例中,铁电材料在第一区段、第二区段及第三区段中的每一者内。在一些实施例中,铁电材料在第一区段或第三区段内。在一些实施例中,晶体管具有栅极、源极区域及漏极区域;且具有介于源极区域与漏极区域之间的沟道区域。晶体管具有栅极电介质,其包含介于源极区域与栅极之间的铁电材料。 | ||
搜索关键词: | 晶体管 存储器 单元 半导体 构造 | ||
【主权项】:
一种半导体构造,其包括:半导体基底;栅极,其延伸到所述基底中;与所述栅极邻近的所述基底的第一区域为导电掺杂源极区域;且与所述栅极邻近且与所述第一区域隔开的所述基底的第二区域为导电掺杂漏极区域;栅极电介质,其包括介于所述源极区域与所述栅极之间的第一区段、介于所述漏极区域与所述栅极之间的第二区段及介于所述第一区段与所述第二区段之间的第三区段;且其中所述栅极电介质的至少一部分包括铁电材料。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
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H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
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