[发明专利]显示装置在审
| 申请号： | 201380060544.0 | 申请日： | 2013-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN104823230A | 公开（公告）日： | 2015-08-05 |
| 发明（设计）人： | 高西雄大;原义仁;中田幸伸 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社 |
| 主分类号： | G09F9/30 | 分类号： | G09F9/30;G02F1/1368;H01L21/336;H01L29/786 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;池兵 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 液晶面板(11)包括：配置在阵列基板(11b)的显示部(AA)的显示部用TFT(17)；配置在非显示部(NAA)的非显示部用TFT(29)；构成非显示部用TFT(29)的第二栅极电极部(29a)；由氧化物半导体膜36构成的第二沟道部(29d)；与第二沟道部(29d)连接的第二源极电极部(29b)；与第二沟道部(29d)连接的第二漏极电极部(29c)；和第一层间绝缘膜(39)，其至少层叠于第二源极电极部(29b)和第二漏极电极部(29c)上，是相对地配置在下层侧且至少含有硅和氧的下层侧第一层间绝缘膜(39a)与相对地配置在上层侧且至少含有硅和氮并且膜厚为35nm～75nm的范围的上层侧第一层间绝缘膜(39b)的层叠结构。 | ||
| 搜索关键词： | 显示装置 | ||
【主权项】：
一种显示装置，其特征在于，包括：基板，其具有能够显示图像且配置在中央侧的显示部和以包围所述显示部的方式配置在外周侧的非显示部；配置在所述显示部的显示部用晶体管；配置在所述非显示部的非显示部用晶体管；构成所述非显示部用晶体管的栅极电极部；氧化物半导体膜，其构成所述非显示部用晶体管，所述氧化物半导体膜的至少一部分与所述栅极电极部在俯视时重叠；源极电极部，其构成所述非显示部用晶体管，所述源极电极部的至少一部分层叠于所述氧化物半导体膜上，并且所述源极电极部与所述氧化物半导体膜连接；漏极电极部，其构成所述非显示部用晶体管，所述漏极电极部的至少一部分层叠于所述氧化物半导体膜上，并且所述源极电极部在与所述源极电极部之间空出间隔且与所述氧化物半导体膜连接；和绝缘膜，其至少层叠于所述源极电极部和所述漏极电极部上，该绝缘膜为下层侧绝缘膜与上层侧绝缘膜的层叠结构，该下层侧绝缘膜相对地配置于下层侧，至少含有硅和氧，该上层侧绝缘膜相对地配置于上层侧，至少含有硅和氮，并且膜厚为35nm～75nm的范围。
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