[发明专利]正型感光性硅氧烷组合物有效
| 申请号： | 201380060802.5 | 申请日： | 2013-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN104797978B | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 野中敏章;横山大志;福家崇司;田代裕治 | 申请（专利权）人： | AZ电子材料（卢森堡）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/023 | 分类号： | G03F7/023;G03F7/075 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所(普通合伙) 11216 | 代理人： | 刘淼 |
| 地址： | 卢森堡(L-1*** | 国省代码： | 卢森堡;LU |
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| 摘要： |
一种正型感光性硅氧烷组合物，其含有：(I)在四甲基氢氧化铵(TMAH)水溶液中的溶解速度不同的至少两种以上的聚硅氧烷、(II)预烘烤后的膜在2.38％重量TMAH水溶液中的溶解速度为50～1,000 |
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| 搜索关键词： | 正型感光性硅氧烷组合物 聚硅氧烷 溶解 四甲基氢氧化铵 可溶性基团 硅烷醇基 重氮基萘 醌衍生物 预烘烤 溶剂 | ||
【主权项】：
1.一种正型感光性硅氧烷组合物，其为含有(I)在四甲基氢氧化铵水溶液中的溶解速度不同的至少两种以上的聚硅氧烷I、(II)具有除了硅烷醇基以外的四甲基氢氧化铵水溶液可溶性基团的聚硅氧烷II、(III)重氮基萘醌衍生物、以及(IV)溶剂的正型感光性硅氧烷组合物，其特征在于，所述聚硅氧烷I是(A)聚硅氧烷Ia与(B)聚硅氧烷Ib的混合物，并且该混合物在2.38重量％四甲基氢氧化铵水溶液中的溶解速度为![]()
/秒，该聚硅氧烷Ia通过在碱性催化剂的存在下使由通式(1)表示的硅烷化合物进行水解缩合而获得，预烘烤后的膜可溶于5重量％四甲基氢氧化铵水溶液，其溶解速度为![]()
/秒以下，该聚硅氧烷Ib通过在酸性或者碱性催化剂的存在下使由下述通式(1)表示的硅烷化合物进行水解缩合而获得，预烘烤后的膜在2.38重量％四甲基氢氧化铵水溶液中的溶解速度为![]()
/秒以上，另外，所述具有除了硅烷醇基以外的四甲基氢氧化铵水溶液可溶性基团的聚硅氧烷II是：预烘烤后的膜在2.38重量％四甲基氢氧化铵水溶液中的溶解速度为![]()
/秒的聚硅氧烷，R1nSi(OR2)4‑n (1)式中，R1表示任意的亚甲基都可被氧置换的碳原子数为1～20的直链状、支链状或环状烷基、或者碳原子数为6～20并且任意的氢都可被氟取代的芳基，R2表示碳原子数1～5的烷基，n表示0或1。
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