[发明专利]探针卡盒和探针卡输送方法

摘要

本发明提供一种探针卡盒，其能够容易地进行探针卡的操作处理且还能够应对小径化(小型化)了的探针卡。一种用于收纳探针卡的探针卡盒，其特征在于，包括：第1盒部件，其能够将上述探针卡载置在规定位置；第2盒部件，其能够与上述第1盒部件的上侧嵌合，具有用于固定上述探针卡的探针卡固定机构；和盒固定机构，其用于固定上述第1盒部件和上述第2盒部件，能够在将上述探针卡收纳在上述探针卡盒的内部、且将上述第1盒部件和上述第2盒部件固定了的状态下进行输送，并且，能够在将上述探针卡固定在上述第2盒部件的状态下，将上述探针卡仅与上述第2盒部件一起输送。

主权项

1.一种用于收纳探针卡的探针卡盒，其特征在于，包括：第1盒部件，其被安装所述探针卡，所述探针卡包括绝缘性基板和配置在该绝缘性基板的下表面的探针；第2盒部件，其能够与所述第1盒部件的上表面侧嵌合，具有用于固定所述探针卡的探针卡固定机构；和盒固定机构，其可选择将所述第1盒部件固定于所述第2盒部件，或者将所述第1盒部件从所述第2盒部件分开，能够在将所述探针卡收纳在所述探针卡盒内、将所述第1盒部件固定于所述第2盒部件的状态下进行输送，并且，能够在将所述探针卡固定在所述第2盒部件且将所述第1盒部件从所述第2盒部件分开的状态下，将所述探针卡仅与所述第2盒部件一起输送。