[发明专利]马达模块、多轴马达驱动组件、多轴机械手设备及电子装置制造系统与方法在审
| 申请号： | 201380062097.2 | 申请日： | 2013-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN104812534A | 公开（公告）日： | 2015-07-29 |
| 发明（设计）人： | 伊贾·克雷默曼 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B25J9/08 | 分类号： | B25J9/08;H02K16/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文描述用于多臂机械手设备的马达模块。马达模块可单独使用，或经堆叠及组装以组成单轴、二轴、三轴、四轴、五轴、六轴马达组件，或更多轴的马达组件。马达模块中的一或多个具有：定子组件，所述定子组件包括容纳在定子外壳中的定子；及与定子组件相接的转子组件，所述转子组件包括转子外壳、驱动轴、支撑驱动轴的轴承组件，及耦接至所述驱动轴的转子。真空屏障部件定位在转子与定子之间。本文描述了多轴马达驱动组件、多轴机械手设备、电子装置制造系统及组装驱动组件的方法，以及描述了众多其它态样。 | ||
| 搜索关键词： | 马达 模块 驱动 组件 机械手 设备 电子 装置 制造 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种马达模块，所述模块包括：定子组件，所述定子组件包括定子外壳及固定至所述定子外壳的定子，所述定子外壳包括定子外壳轴向端部；转子组件，所述转子组件与所述定子组件沿轴向轴相接且其中所述转子组件的一部分容纳在所述定子组件的内部，所述转子组件包括：转子外壳，所述转子外壳包括转子外壳轴向端部，其中所述转子外壳轴向端部与所述定子外壳轴向端部沿所述轴向轴相接，驱动轴，轴承组件，所述轴承组件相对于所述转子外壳支撑所述驱动轴，及转子，所述转子耦接至所述驱动轴；真空屏障部件，所述真空屏障部件定位在所述转子与所述定子之间；及定位特征结构，所述定位特征结构用于将所述马达模块以轴向及旋转方式相对于其它马达模块而定向。
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