[发明专利]聚酰亚胺前体、包含该聚酰亚胺前体的感光性树脂组合物、使用其的图案固化膜的制造方法和半导体装置在审
| 申请号： | 201380066870.2 | 申请日： | 2013-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN104870523A | 公开（公告）日： | 2015-08-26 |
| 发明（设计）人： | 榎本哲也;小野敬司;大江匡之;铃木佳子;副岛和也;铃木越晴 | 申请（专利权）人： | 日立化成杜邦微系统股份有限公司 |
| 主分类号： | C08G73/10 | 分类号： | C08G73/10;C08F290/14;G03F7/027;G03F7/031;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 钟晶;李家浩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
一种聚酰亚胺前体，其相对于全部结构单元具有大于或等于50mol％的下述通式(1)所表示的结构单元。通式(1)中，A为下述通式(2a)～(2c)所表示的4价有机基团中的任一个，B为下述通式(3)所表示的2价有机基团。 |
||
| 搜索关键词： | 聚酰亚胺 包含 感光性 树脂 组合 使用 图案 固化 制造 方法 半导体 装置 | ||
【主权项】：
一种聚酰亚胺前体，其相对于全部结构单元具有大于或等于50mol％的下述通式(1)所表示的结构单元，![]()
通式(1)中，A为下述通式(2a)～(2c)所表示的4价有机基团中的任一个，B为下述通式(3)所表示的2价有机基团，R1和R2各自独立地为氢原子或1价有机基团；![]()
通式(2c)中，X和Y各自独立地为与各自结合的苯环不共轭的2价基团或单键；![]()
通式(3)中，R3～R10各自独立地为氢原子或1价基团，R3～R10的至少一个为氟原子或三氟甲基。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于日立化成杜邦微系统股份有限公司，未经日立化成杜邦微系统股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201380066870.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：新颖含乙炔基的有机聚硅氧烷化合物、分子链两末端含乙炔基的直链状有机聚硅氧烷化合物的制造方法、烷氧基硅烷基-亚乙基末端有机硅氧烷聚合物的制造方法、室温固化性组合物及作为其固化物的成型物
- 下一篇：芴系聚合物、芴系二醇化合物及其制造方法
- 同类专利
- 专利分类
