[发明专利]末端执行器装置在审
申请号: | 201380067574.4 | 申请日: | 2013-12-25 |
公开(公告)号: | CN104937708A | 公开(公告)日: | 2015-09-23 |
发明(设计)人: | 桥本康彦;福岛崇行;金丸亮介;宫川大辉 | 申请(专利权)人: | 川崎重工业株式会社 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 张世俊 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 末端执行器装置(1)具备:机器手(3),具有收纳空间;及多个保持部(4A、4B),设置于机器手(3),分别保持各板状构件的周缘部。各保持部(4A、4B)包含:多个支承部(42),以多个板状构件隔开上下间距的方式,分别支承所述多个板状构件;及间距变换机构(7),使所述多个支承部(42)分别升降而变换间隔。与多个支承部(42)一体地分别线性移动的多个线性移动部(41A),以露出至机器手(3)的外部的方式设置于所述机器手(3),且分别驱动间距变换机构(7)的多个线性移动部(41A)的多个驱动部被收纳于机器手(3)的收纳空间。 | ||
搜索关键词: | 末端 执行 装置 | ||
【主权项】:
一种末端执行器装置,具备:机器手,具有收纳空间;及多个保持部,以如下方式构成:设置于所述机器手,且以分别保持各板状构件的周缘部的外沿方向上互不相同的部位的方式,分别保持多个所述板状构件;且各所述保持部包含:多个支承部,利用所有所述保持部,以所述多个板状构件与1个平面大体平行且在与所述1个平面大体正交的第1方向相互隔开间隔地配置的方式,分别支承所述多个板状构件的周缘部;及间距变换机构,以使所述多个支承部分别在所述第1方向线性移动而变换所述间隔;与所述间距变换机构的所述多个支承部一体地分别线性移动的多个线性移动部以露出至所述机器手的外部的方式设置于所述机器手,分别驱动所述间距变换机构的所述多个线性移动部的多个驱动部被收纳于所述机器手的收纳空间。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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