[发明专利]双面研磨装置用载具及晶圆的双面研磨方法有效
| 申请号： | 201380070087.3 | 申请日： | 2013-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN104903053B | 公开（公告）日： | 2018-09-25 |
| 发明（设计）人： | 佐佐木正直;内山勇雄 | 申请（专利权）人： | 信越半导体株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/28 | 分类号： | B24B37/28 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 谢顺星;张晶 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明是一种双面研磨装置用载具，在双面研磨装置中，被配置于各自贴附有研磨布的上磨盘和下磨盘之间，该双面研磨装置用载具形成有保持孔，该保持孔用于在研磨时保持夹在所述上磨盘和下磨盘之间的晶圆，其特征在于，该载具的上下的主要表面部是由β型钛合金所构成，该β型钛合金是使纯钛中含有0.5重量％以上的β稳定元素而成。由此，提供一种耐磨耗性优异且能够降低成本的双面研磨用载具。 | ||
| 搜索关键词： | 双面 研磨 装置 用载具 方法 | ||
【主权项】：
1.一种双面研磨装置用载具，在双面研磨装置中，被配置于各自贴附有研磨布的上磨盘和下磨盘之间，该双面研磨装置用载具形成有保持孔，该保持孔用于在研磨时保持夹在所述上磨盘和下磨盘之间的晶圆，其特征在于，该载具的上下的主要表面部是由β型钛合金所构成，该β型钛合金是使纯钛中含有0.5％重量以上2.0％重量以下的β稳定元素而成，所述β稳定元素为Fe，所述载具的磨耗率为0.06μm/h以下。
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