[发明专利]DLC被覆膜及被覆气门挺杆

摘要

本发明提供一种可以同时确保CVD(化学气相生长)成膜方法的成膜速度和溅射成膜方法的耐久性的DLC(类金刚石碳)被覆膜及被覆气门挺杆。DLC被覆膜由沉积形成于基材表面的中间层(3)、沉积形成于该中间层(3)上的DLC层(4)构成，通过能够进行表面硬化的金属碳化物或金属来形成所述中间层(3)，且在混入烃气的非活性气体导入下，通过添加与所述中间层(3)共同的金属元素来形成所述DLC层(4)，由此，可对中间层(3)和DLC层(4)进行连续的采用溅射处理的成膜，另外，可进行Me‑DLC(金属添加DLC)的DLC层(4)的H(氢)含量调节。

主权项

1.一种DLC被覆膜，其特征在于，由在发动机构成零件的基材被覆Cr而形成的底层、沉积形成于所述底层的表面的中间层、和沉积形成于该中间层上的DLC(类金刚石碳)层构成，通过能够进行表面硬化的金属碳化物或金属的溅射处理来形成所述中间层，且除了在混入烃气的非活性气体导入下的碳的溅射处理，还通过上述中间层的溅射处理的继续控制，将与该中间层共同的金属元素与距上述中间层的成膜厚度对应地慢慢减少、同时进行添加，由此形成所述DLC层而成，所述共同的金属元素是W(钨)，所述DLC层在钨的添加量在DLC层表面为0.5～20at％(原子百分率)的范围内成膜。