[发明专利]对基板作业装置及喷出头

摘要

在元件装配装置(100)中，喷出头(220)具备阀机构(90)，阀机构(90)能够在经由收容室(71)推压喷出口(14a)的粘接剂使其喷出的第一切换状态和不使粘接剂喷出的第二切换状态、及喷出口(14a)经由收容室(71)与大气连通的第三切换状态之间切换。并且，当圆筒齿轮(72)被输入来自头保持体的操作时，基于所输入的操作，切换部(73)切换阀机构(90)。另外，在吸附头的操作和喷出头(220)的圆筒齿轮(72)的操作中共用头保持体的离合器部件。另外，头保持体的离合器部件能够操作使吸附头的吸附嘴进行轴旋转的机构。另外，圆筒齿轮(72)在喷出头(220)保持于头保持体时的与头保持体的连接面上露出。

主权项

1.一种对基板作业装置，在基板上涂布粘性流体，所述对基板作业装置具备：喷出头，具备：粘性流体收容室，收容所述粘性流体；粘性流体喷出口，与所述粘性流体收容室连通；阀机构，能够在经由所述粘性流体收容室推压所述粘性流体喷出口的粘性流体而使该粘性流体喷出的第一状态和不喷出所述粘性流体的第二状态之间切换；操作输入部，输入来自外部的操作；及切换部，基于所述操作输入部所输入的操作来切换所述阀机构；及头保持单元，能够对所述喷出头以能够拆装的方式进行保持，所述阀机构设于连接面与所述粘性流体收容室之间，其中该连接面是在所述喷出头被保持在所述头保持单元上时与该头保持单元连接的面。