[发明专利]异质层器件有效
| 申请号： | 201380080983.8 | 申请日： | 2013-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN105723501B | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | K·俊;P·莫罗 | 申请（专利权）人： | 英特尔公司 |
| 主分类号： | H01L21/336 | 分类号： | H01L21/336 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 陈松涛;王英 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 实施例包括一种装置，包括：包括NMOS器件的N层，所述NMOS器件具有全都与平行于衬底的第一水平轴相交的N沟道、源极和漏极；包括PMOS器件的P层，所述PMOS器件具有全都与平行于所述衬底的第二水平轴相交的P沟道、源极和漏极；对应于N沟道、与所述第二水平轴相交的第一栅极；以及对应于P沟道、与所述第一水平轴相交的第二栅极。本文描述了其它实施例。 | ||
| 搜索关键词： | 异质层 器件 | ||
【主权项】：
一种装置，包括：包括NMOS器件的N层，所述NMOS器件具有全都与平行于衬底的第一水平轴相交的N沟道、源极和漏极；包括PMOS器件的P层，所述PMOS器件具有全都与平行于所述衬底的第二水平轴相交的P沟道、源极和漏极；对应于所述N沟道的第一栅极，所述第一栅极与所述第二水平轴相交；以及对应于所述P沟道的第二栅极，所述第二栅极与所述第一水平轴相交。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于英特尔公司，未经英特尔公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201380080983.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于制造太阳能电池的方法
- 下一篇：半导体装置的制造方法以及半导体装置
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
