[其他]供串联基板处理工具中使用的门和包括所述门的串联基板处理工具

摘要

本文提供一种供串联基板处理工具中使用的门和包括所述门的串联基板处理工具。在一些实施方式中，位于成线性排列耦接至彼此的第一基板处理模块与第二基板处理模块之间供串联基板处理工具中使用的门可包括反射体，所述反射体设置在实质透明材料的两个盖板之间，所述反射体被配置成将光和热能反射至第一基板处理模块和第二基板处理模块的每一个中，其中门是选择性地可移动的，所述门经由耦接至门的致动器在流体耦接第一基板处理模块和第二基板处理模块的打开位置与使第一基板处理模块与第二基板处理模块隔离的关闭位置之间移动。

主权项

一种供串联基板处理工具中使用的门，所述门位于成线性排列耦接至彼此的第一基板处理模块与第二基板处理模块之间，其特征在于，所述门包括：反射体，所述反射体设置在实质透明材料的两个盖板之间，所述反射体被配置成将光和热能反射至所述第一基板处理模块和所述第二基板处理模块的每一个中，其中所述门是选择性地可移动的，所述门经由耦接至所述门的致动器在流体耦接所述第一基板处理模块和所述第二基板处理模块的打开位置与使所述第一基板处理模块与所述第二基板处理模块隔离的关闭位置之间移动。