[发明专利]掩膜组件有效
| 申请号： | 201410008606.X | 申请日： | 2014-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN104141105B | 公开（公告）日： | 2018-03-27 |
| 发明（设计）人： | 金容焕 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C16/04 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司11018 | 代理人： | 李文颖,周艳玲 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种掩膜组件，包括掩膜框架，具有形成在该掩膜框架上的框架开口；和被固定到所述掩膜框架的多个单元掩膜。各个单元掩膜沿第一方向延伸，而且所述多个单元掩膜中的至少一个单元掩膜，包括在该至少一个单元掩膜的两端部处沿与所述第一方向相交的第二方向伸出到其一侧的一侧向伸出部和伸出到其另一侧的另一侧向伸出部中的至少一个。 | ||
| 搜索关键词： | 组件 | ||
【主权项】：
一种掩膜组件，包括：掩膜框架，具有形成在该掩膜框架上的框架开口；和被固定到所述掩膜框架的多个单元掩膜；其中各个单元掩膜沿第一方向延伸，其中所述多个单元掩膜中的至少一个单元掩膜，包括在所述至少一个单元掩膜的两端部处沿与所述第一方向相交的第二方向伸出到其一侧的一侧向伸出部和伸出到其另一侧的另一侧向伸出部中的至少一个，其中各个单元掩膜沿所述第二方向彼此分开，并且其中所述伸出部的伸出长度不大于相邻的单元掩膜之间的分开距离。
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