[发明专利]振动片、振子、振荡器、传感器以及电子设备

摘要

本发明提供振动片、振子、振荡器、传感器以及电子设备。振动片具有：基部，在其一端与另一端之间设置有切入部；一对振动臂，在俯视时从基部的一端起沿着第1方向延伸；支撑部，在俯视时与基部的另一端侧连接，振动臂的机械谐振频率f比振动臂的热缓和频率f₀大，当设在俯视时切入部的外缘与一对振动臂之间的分叉部的外缘之间的最短距离为基部弯曲宽度Wb，设假想振动臂的臂宽为有效臂宽We时，满足Wb＞We的关系，其中，假想振动臂沿着包含与第1方向交叉的第2方向和振动臂的厚度方向的面的截面形状为矩形，假想振动臂的机械谐振频率与振动臂的机械谐振频率f相等，热弹性损失与振动臂的热弹性损失等价，厚度与振动臂的厚度相同。

主权项

一种振动片，其特征在于，该振动片具有：基部，在其一端与另一端之间设置有切入部；一对振动臂，在俯视时该一对振动臂从所述基部的所述一端起沿着第1方向延伸；以及支撑部，在俯视时该支撑部与所述基部的另一端侧连接，所述振动臂的机械谐振频率f比所述振动臂的热缓和频率f₀大，当设在俯视时所述切入部的外缘与所述一对振动臂之间的分叉部的外缘之间的最短距离为基部弯曲宽度Wb，设假想振动臂的臂宽为有效臂宽We时，满足Wb＞We的关系，其中，所述假想振动臂沿着包含与所述第1方向交叉的第2方向和所述振动臂的厚度方向的面的截面形状为矩形，所述假想振动臂的机械谐振频率与所述振动臂的机械谐振频率f相等，热弹性损失与所述振动臂的热弹性损失等价，厚度与所述振动臂的厚度相同。