[发明专利]采用EBSD表征热轧钢板截面氧化铁皮微观结构的方法

摘要

一种采用EBSD表征热轧钢板截面氧化铁皮微观结构的方法，属于金属材料物理性能检验技术领域。利用电子束照射到样品表面后形成的背散射衍射信息获得样品的物相、取向、应力状态等数据对晶态材料进行分析，由于背散射信号对样品表面非常敏感，因此用于EBSD观察的样品要求具有很高的平整度和尽可能少的应力层。优点在于，解决了易破碎、导电性能差的氧化铁皮样品的制备困难问题，解决了热轧板氧化铁皮截面表征问题，在后序EBSD面扫描中选择氧化铁皮晶体学参数，利用结构信息区分各相，精确表征氧化铁皮的显微形貌、相组成、晶粒尺寸，实现了热轧板截面氧化铁皮的精确定性/定量表征。

主权项

一种采用EBSD表征热轧钢板截面氧化铁皮微观结构的方法，其特征在于，工艺步骤如下：（1）试样的制备采用导电胶带将氧化铁皮块状试样表面和另一块板状试块粘结在一起，采用精密切割机切割出待测截面试样；采用机械磨平机，手工磨平试样；采用机械抛光机，抛光磨料为人造金刚石抛光剂，在抛光盘靠近心部的位置抛光截面试样；采用化学精细抛光，使用全自动磨抛机，化学机械抛光盘，精抛润滑剂为<1μm的SiO₂溶胶，作精抛光，制得平整无应力层截面试样；（2）EBSD面扫描将抛光好的截面试样用导电胶带固定在70°倾斜的样品台上，把截面试样放入场发射扫描电镜样品室内，采集图像，在去除背底时，放大图像使氧化铁皮充满整个视场获得均匀背底，再去除背底；选定氧化铁皮参数，标定EBSD花样，设定步长为0.1μm‑0.5μm，在500至2000放大倍数下做EBSD全视场面扫描，完成数据采集；（3）EBSD面扫描数据分析首先去除扫描结果中误标点、奇异点和噪点，得到完整的面扫描结果，然后将面扫描结果获得的相分布图进行氧化铁皮三个不同相的定性定量分析，在相分布图中Fe₃O₄、Fe₂O₃、FeO和基板Fe采用0‑255之间的不同灰度值区分。