[发明专利]基于上下文感知图案的自动化设计布局图案校正有效
| 申请号： | 201410034766.1 | 申请日： | 2014-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN103970930A | 公开（公告）日： | 2014-08-06 |
| 发明（设计）人： | 王道宁;戴毅;路易奇·卡波迪耶西 | 申请（专利权）人： | 格罗方德半导体公司 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟;王锦阳 |
| 地址： | 英属开曼群*** | 国省代码： | 开曼群岛;KY |
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| 摘要： | 本发明涉及基于上下文感知图案的自动化设计布局图案校正，提供的是用于自动化基于图案半导体设计布局校正的程序及设备。具体实施例包括扫描经绘制的半导体设计布局基于与预特征化的难以制造图案的匹配以判断经绘制的半导体设计布局内的难以制造图案、基于校正图案与预特征化的难以制造图案之间的预定校正而判断校正图案、以及以经绘制的半导体设计布局内的校正图案取代难以制造图案。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 上下文 感知 图案 自动化 设计 布局 校正 | ||
【主权项】：
一种方法，包含：扫描经绘制的半导体设计布局以基于与预特征化的难以制造图案的匹配而判断该经绘制的半导体设计布局内的难以制造图案；基于校正图案与该预特征化的难以制造图案之间的预定相关性而判断该校正图案；以及在该经绘制的半导体设计布局内以该校正图案取代该难以制造图案。
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